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日本理學(xué)波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀

型號：WDA 3650

產(chǎn)品價(jià)格：電議采購度：180 發(fā)布時(shí)間：2023/8/3 14:46:31

儀器產(chǎn)地：日本所屬地區：廣東深圳市

簡(jiǎn)要描述：這是一種波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。 XYθZ驅動(dòng)樣品臺（利方法）可以精確分析各種金屬膜，避免衍射射線(xiàn)的影響。 4kW大功率X射線(xiàn)管可實(shí)現超輕元素的高精度分析，例如BPSG薄膜的痕量元素測量和硼分析。還支持C-to-C運輸機器人（可選）。它配備了自動(dòng)校準（全自動(dòng)每日檢查和強度校正功能）。

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標簽：波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀 波長(cháng)色散XRF 理學(xué)波譜儀

產(chǎn)品詳情

日本理學(xué)波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀WDA 3650用于薄膜評估的波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀

同時(shí)對各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無(wú)損、非接觸式分析

這是一種波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。 XYθZ驅動(dòng)樣品臺（利方法）可以精確分析各種金屬膜，避免衍射射線(xiàn)的影響。 4kW大功率X射線(xiàn)管可實(shí)現超輕元素的高精度分析，例如BPSG薄膜的痕量元素測量和硼分析。還支持C-to-C運輸機器人（可選）。它配備了自動(dòng)校準（全自動(dòng)每日檢查和強度校正功能）。

支持微量元素的濃度和成分分析

適用于從輕元素到重元素的各種元素： 4是~92U

高靈敏度硼檢測儀AD-硼

我們不斷開(kāi)發(fā)新的光學(xué)系統，例如提高硼分析能力，以提高分析的準確性和穩定性。此外，降溫機構和真空度穩定機構是穩定的標準設備。

X-Y-θ 驅動(dòng)

X-Y-θ驅動(dòng)樣品臺和測量方向設置程序可以在整個(gè)晶圓上精確測量薄膜厚度和成分分布。鐵電薄膜也不受衍射光束的影響。

應用

半導體器件BPSG，SiO2四3N4、・・摻雜多晶硅（B，P，N，AS）， Wsix、・・Al-Cu， TiW， TiN、TaN， PZT， BST， SBT，・・MRAM、・・金屬膜 W， Mo， Ti， Co， Ni， Al， Cu， Ir， Pt， Ru，・磁盤(pán) CoCrTa， CoCrPt， DLC，・
NiP，・

磁光盤(pán) Tb-FeCo，・磁頭 GMR， TMR，・

廣泛的固定測角儀產(chǎn)品陣容

我們根據膜厚和膜結構提供合適的固定測角儀。我們還在準備一個(gè)用的光學(xué)系統，可以分析硅晶圓上的Wsix薄膜。

全自動(dòng)日常管理功能自動(dòng)校準

為了獲得準確的分析值，必須對儀器進(jìn)行正確校準。為此，必須定期測量檢查晶圓和PHA調整晶圓作為管理晶圓，以保持設備的健康狀況。這種常規校準工作是完全自動(dòng)化的，減少了操作員的工作量。這就是AutoCal功能。

與 C-to-C 自動(dòng)輸送兼容

除了開(kāi)放式暗盒外，還支持 SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。此外，還可以與主機進(jìn)行SECS通信，并支持各種CIM/FA格式。

緊湊節能設計

主機占地面積1m2下面的緊湊型設計。無(wú)油變壓器的使用也使輔助設備更加緊湊和節能設計。

同時(shí)評估薄膜厚度和成分
適用于所有薄膜類(lèi)型
支持小于 200 mm 的晶圓和介質(zhì)盤(pán)
高分析性能、準確性和穩定性
獲得利的XYθZ驅動(dòng)樣品臺，可獲得準確的XRF結果
高靈敏度硼分析（帶AD硼通道）
使用可選的 C 到 C 自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準
無(wú)油變壓器X射線(xiàn)發(fā)生器
功耗比以的型號低 23%

規格/規格

產(chǎn)品名稱(chēng)	WDA-3650
技術(shù)	同步波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀（WD-XRF）
用	大 200 mm 晶圓的多層堆疊的厚度和成分
科技	4 kW X 射線(xiàn)發(fā)生器，帶 XYθ 樣品臺，Rh 陽(yáng) WDXRF
主要成分	多達 20 個(gè)通道，固定類(lèi)型（₄Be 至 ₉₂U），掃描類(lèi)型（₂₂Ti 至 ₉₂U）
選擇	靈敏的AD-硼通道，使用C-c-C自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準
控制（電腦）	內置電腦，微軟視窗®操作系統
車(chē)身尺寸	1120（寬）x 1450（高）x 890（深）毫米
質(zhì)量	600公斤（主機）
權力	三相 200 VAC 50/60 Hz、30 A 或單相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A